Head：三村 秀和 (MIMURA Hidekazu)

　本グループでは、極限精度をキーワードに、ナノ精度加工、ナノ精度計測、ナノ精度転写（量産）を目指した新しい生産技術の開発を行っています。

　極限の精度は、原子オーダーになります。この精度を実現するためには、従来の方法の発展も重要ですが、様々な物理・化学現象を利用し、原理的にその精度を達成する現象を利用した技術を生み出す必要があります。表面科学、電気化学、光学、流体力学などの学問分野をベースに、高精度メカトロニクスを融合させ、まったく新しい加工・計測・転写技術の開発を行います。そういった技術開発には目標（値）が求められます。そこで本グループでは、極限の精度が求められるＸ線光学素子をターゲットに研究開発を進めています。

　研究をトップスピードで進めるためには、互いの長所を活かし、短所を補完しあう共同研究は重要となります。各学生の研究テーマのほとんどは、基本的に公的研究機関、他大学、企業との共同研究となります。したがって、学生も、企業や共同研究者との交渉を行いますので責任を持って進めて頂くことになります。